如何選用貼片晶振監(jiān)控片 隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展和社會(huì)發(fā)展水平的提高，真空電鍍技術(shù)在愈來愈多的領(lǐng)域使用，如何監(jiān)控淀積的膜厚，目前選用石英晶體振蕩監(jiān)控法和光學(xué)膜厚監(jiān)控法，我司多年來致力于石英晶體振蕩監(jiān)控法的核心部件晶振片研究、生產(chǎn)，并總結(jié)了一些工作經(jīng)驗(yàn)與同仁共同控討。

1.原理石英晶體法監(jiān)控膜厚，主要是利用了石英晶體的壓電效應(yīng)和質(zhì)量負(fù)荷效應(yīng)。當(dāng)晶振片上鍍了某種膜層，使晶振片的厚度增加，則晶振片的固有頻率會(huì)相應(yīng)的變化。顯然晶體的基頻越高，控制的靈敏度也越高，但基頻過高時(shí)，晶體片會(huì)做得很薄，很薄的晶體片易碎，一般選用AT切型頻率5～10MHz。選用AT切晶體片，其振動(dòng)頻率對(duì)質(zhì)量的變化極為靈敏，但卻不敏感于溫度的變化，具有精度高、靈敏度好等獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)，特別適合于真空薄膜淀積中的膜厚監(jiān)控。

2. 產(chǎn)品品種現(xiàn)在市場(chǎng)上常用的有兩種頻點(diǎn)，標(biāo)稱頻率分別為5.000MHz、6.000MHz，這兩種規(guī)格我司早已大批量生產(chǎn)，規(guī)格如下表：標(biāo)稱頻率5.000MHz6.000MHz外形2.5屈光度平凸面直徑(mm)Ф12.37Ф13.98切型AT切諧振頻率4.995～5.005MHz5.980～5.988MHz諧振電阻≦20Ω材質(zhì)Z料Q值≧2x106根據(jù)膜厚控制儀的探頭設(shè)計(jì)不同，選用不同的電極形狀如：?jiǎn)五^雙錨全雙錨

3.電極材料，貼片晶振的電極對(duì)膜厚監(jiān)控尤為重要，目前市場(chǎng)上提供三種標(biāo)準(zhǔn)電極材料：金、銀和合金。用戶所鍍的材料不同，需選用不同的電極材料產(chǎn)品。